一种制备大面积铁电薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种制备均匀大面积铁电薄膜的方法，属于铁电薄膜制备领域。其特征在于采用化学匀胶成膜的方法制备铁电薄膜。关键是改进了匀胶台吸盘的气路槽和优化工艺参数。设计的气路槽宽减小至0.8-1.5mm，槽深减至0.5-0.8mm，增加了槽的数量由圆环状改为发射状，且工艺参数优化，与原来较深的圆槽相比，匀胶后的膜颜色均匀，没有衍射环，所制备的4英寸PZT铁电薄膜厚度均匀性和性能均匀性偏差分别为2.5％和3％。

主权项

1.一种大面积铁电薄膜的制备方法，按制备的铁电薄膜的配置成溶液，选定基片，然后用匀胶法制备薄膜，其特征在于基片放在由圆环状改成发射状的吸气盘上，将溶液均匀滴在基片上，甩胶速度控制在3000-5000转/分钟，时间20-40秒；然后放在320-420℃的热板上预烧结10-15分钟，经5-10次成膜-预烧结-再成膜制成铁电薄膜，最后经650-750℃，氧气氛下快速退火处理；所述的改进后发射状吸气盘圆槽的宽度为0.8-1.5mm；深度为0.5-0.8mm；有效增加了圆槽和直线槽的数量。