探头、探头装配方法

摘要

本发明公开一种探头、探头装配方法和探针板。滑动单元在台的平整滑动平面上滑动，以便沿着和所述平整滑动平面平行的方向调整多个滑动单元的相对位置。即使滑动单元和可动单元一起沿着平行于平整滑动平面的方向移动，多个可动单元沿垂直于平整滑动平面的方向的相对位置不会改变。通过在所述台的平整滑动平面上滑动滑动单元并沿着垂直于滑动面的方向移动可动单元，可以独立且分别地沿着平行和垂直所述平整滑动平面的方向调整安装在可动单元上的多个探针的相对位置。

主权项

1.一种探头，包括：具有平整滑动平面的台；多个滑动单元，每个均具有用以在所述平整滑动平面上滑动的滑动面；为所述滑动单元中的每一个设置的提升单元，所述提升单元能够沿垂直方向移动；为所述提升单元中的每一个设置的探针，每个所述探针的顶端从所述提升单元突出；以及定位装置，用以相对所述滑动单元定位所述提升单元，以及相对所述台定位所述滑动单元。