网格状分立的发光二极管外延片及其制造方法

摘要

本发明揭示了网格状分立的发光二极管外延片，所述外延片包括：一外延衬底；一网格状掩模层，设置在所述外延衬底上；一外延层，设置在所述外延衬底上的所述网格状掩模层之间。本发明还公开了网格状分立的发光二极管外延片的制造方法，包括：在外延衬底上沉积一掩膜层；在所述掩膜层上制作一呈网格状光刻胶层；去除所述网格状光刻胶层的网格间的掩模层；去除所述网格状光刻层，留下掩膜层；在暴露出的所述外延衬底上沉积一外延层。该网格状分立的发光二极管外延片可以有效消除由于外延层薄膜与衬底间应力导致的圆片翘曲。从而有利于生长均匀性更高的发光二极管材料(为实现更大尺寸的圆片外延提供基础)，同时还可以提升芯片加工的良品率。

主权项

1.网格状分立的发光二极管外延片，所述外延片包括：一外延衬底；一网格状掩模层，设置在所述外延衬底上；一外延层，设置在所述外延衬底上的所述网格状掩模层之间。