薄膜电晶体面板的制造方法

摘要

一种薄膜电晶体面板的制造方法,包含下列步骤:形成n型磊晶层于p型矽晶圆正面;形成薄膜电晶体结构以及透明电极于磊晶层内部与上表面;接合透明基板于矽晶圆正面;湿蚀刻该矽晶圆并以电化学蚀刻停止方式,除去矽晶圆并留下磊晶层;形成透明绝缘层于磊晶层下表面;蚀刻磊晶层曝露出透明电极。