在基底上沉积阻障层之方法与系统

摘要

一种在基底上沉积阻障层的方法。首先,以离子化金属电浆物理气相沉积制程,在基底上沉积钛层,钛层的厚度在约为10埃至约为1000埃之间。接着,以金属有机化学气相沉积制程,在该钛层上沉积第一氮化钛层,第一氮化钛层的厚度在约为1埃至约为100埃之间。之后,以热化学气相沉积制程,在第一氮化钛层上沉积第二氮化钛层,第二氮化钛层的厚度在约为10埃至约为750埃之间。