具有内部线圈之感应耦合电浆系统

摘要

本发明之技术实施例可为一种电浆系统,其包含:一线圈,由一电源所供电,藉以于一处理室产生或增强一电浆;及,一介电线圈架,其本身系建立于处理室之内且界定一内部容积,其中建立线圈之至少一部分。于不同实施例中,介电线圈架具有藉由至少一个支撑件于二个支撑位置之二端所支撑,且/或于具有基板支撑件的系统中具有线圈架中心线,该基板支撑件系适以支撑一基板,基板系具有界定其平行于线圈架中心线之一处理表面平面的一处理表面。