| 摘要 |
一种改良电极,其系适于在大气压或近大气压条件下,使用电晕放电、电介质屏障放电或辉光放电电浆处理来修改基板,或使用电浆辅助化学气相沉积法来涂层于基板,该电极包含一界定一空腔于其中的主体,该主体有至少一与该空腔气体相通的进气通道,使得一气体混合物经由该至少一进气通道可流入该空腔,该电极有至少一与该空腔气体相通的出气通道,使得流入该空腔的气体经由该至少一出气通道可流出该空腔,该至少一出气通道为一狭缝。该改良是要在该空腔中配置一密封于该空腔邻近该出气通道之壁上的多孔体,使得流入该空腔的气体在流过该出气通道之前会穿经该多孔体。 |
