电容器及其电极的制造方法

摘要

一种电容器电极的制造方法。这种方法是先提供一个基底,再于基底上形成一层介电层。随后,于介电层上形成一个多层罩幕,并露出部分介电层,其中多层罩幕是由至少两层具有不同蚀刻率的材料所构成。接着,去除露出的介电层以形成一个沟渠,再过度蚀刻介电层,以扩大沟渠的内径。然后,于基底上形成一层导电层覆盖多层罩幕及沟渠表面,再将沟渠以外的导电层去除,以形成电容器的电极。因此,不会造成导电层过多的损失。