| 摘要 |
一种可变批量之载入口组件,包括一工具介面、一前进平板、及一密封平板。工具介面大致上在垂直维度延伸,并具有一前表面、大致上平行于该前表面之一后表面、及一孔洞。前进平板位于该孔洞下方之该工具介面之前,该前进平板大致上是水平延伸的,用来支撑一前开式集中晶圆盒(FOUP),并可在一后退位置及一前进位置之间平移。该前进位置在靠近该工具介面之处且该后退位置在远离该工具介面之处。密封平板具有固定于该工具介面之一上端部、及覆盖一部分之该孔洞以形成一缩小孔洞之一下端部,该密封平板之形状设成:可与具有选定的容量且安装于该前进平板上并被移动至该前进位置之一FOUP的一前凸缘形成近接密封。 |
