| 主权项 |
1.一种薄膜剥离设备,包含: 一承载台,用以承载一基板,该基板上黏贴有一薄 膜; 一具有黏性之薄膜沾黏部,用以接触该薄膜,以便 将该薄膜之一部分撕起并黏贴在该薄膜沾黏部上; 一推抵机构,用以将该薄膜往该薄膜沾黏部的方向 抵紧;及 一驱动机构,驱动该薄膜沾黏部与该承载台两者之 一实质上朝一水平方向与一铅直方向运动,藉以将 该薄膜剥离该基板。 2.如申请专利范围第1项所述之薄膜剥离设备,其中 该驱动机构驱动该薄膜沾黏部及该推抵机构移动 。 3.如申请专利范围第1项所述之薄膜剥离设备,其中 该驱动机构驱动该承载台移动。 4.如申请专利范围第1项所述之薄膜剥离设备,更包 含一夹持机构,用以夹持将该薄膜。 5.如申请专利范围第4项所述之薄膜剥离设备,其中 该驱动机构驱动该薄膜沾黏部及该夹持机构移动 。 6.如申请专利范围第4项所述之薄膜剥离设备,其中 该驱动机构驱动该承载台移动。 7.如申请专利范围第1项所述之薄膜剥离设备,更包 含一脱料机构,用以使该薄膜脱离该薄膜沾黏部。 8.如申请专利范围第7项所述之薄膜剥离设备,其中 该脱料机构包含一顶杆。 9.如申请专利范围第7项所述之薄膜剥离设备,其中 该脱料机构包含一机械手臂。 10.如申请专利范围第1项所述之薄膜剥离设备,其 中该承载台具有一吸盘以固定住该基板。 图式简单说明: 图1显示依据本发明第一实施例之薄膜剥离设备之 第一状态。 图2显示依据本发明第一实施例之薄膜剥离设备之 第二状态。 图3显示依据本发明第一实施例之薄膜剥离设备之 第三状态。 图4显示依据本发明第二实施例之薄膜剥离设备之 夹持机构之示意图。 图5显示依据本发明第三实施例之薄膜剥离设备之 脱料机构之动作示意图之一。 图6显示依据本发明第三实施例之薄膜剥离设备之 脱料机构之动作示意图之二。 图7显示依据本发明第三实施例之薄膜剥离设备之 脱料机构之动作示意图之三。 图8显示依据本发明第三实施例之薄膜剥离设备之 脱料机构之俯视图。 |
