| 摘要 |
一种奈米级三次元接触式量测探头,系包括一基座,一固定于基座上的光学式位移量测装置、光学式二维角度量测装置及悬吊装置。悬吊装置采用对称式微细梁设计,抑制两个位移自由度与一个旋转自由度的运动,于搭配所选择的探棒长度后,使接触式量测探头具任意方向等刚性特性,进而减少量测探头因触发时刚性不同所造成的预行程误差。实际操作乃藉由悬吊装置中的探棒前端圆球碰触待测物表面,当碰触时,经由光学式位移量测装置与光学式二维角度量测装置,予以纪录悬吊装置的变形量,当变形量达到触发门槛时将产生一触发讯号,以作为撷取三轴定位平台各轴向位移量的依据,重复上述量测动作,进而完成待测物的三维尺寸量测。 |
