轴承机构及应用其之制程机台

摘要

一种轴承机构及应用其之制程机台。轴承机构系使用于一液体中。轴承机构包括一第一转动环、一第二转动环、数个滚动元件及一轴封元件。第一转动环用以耦接一轴心并与轴心同步转动。第二转动环系设置于第一转动环之外围,用以耦接一传动元件并与传动元件同步转动。滚动元件系设置于第一转动环及第二转动环之间。第一转动环及第二转动环系藉由此些滚动元件相对转动,并使传动元件及轴心相对转动。轴封元件系紧密抵靠第二转动环之一侧面,但不抵靠第一转动环,用以避免液体经由侧面渗入第一转动环及第二转动环之间。