| 摘要 |
【课题】本发明提供一种表面处理装置的输送机,其特征在于:表面处理装置间的间隔空间,第1,藉由使基板材倾斜令附着之处理液流下,而可防止处理液的混合,第2,藉由吸液、除去附着之处理液,从这方面亦可防止处理液的混合。【解决手段】该表面处理装置1,具有处理液B的液槽5、在液槽5内将基板材A在液中运送的输送机3、及在液槽5内将处理液B于液中喷射的喷嘴4,输送机3具备夹住基板材A之两侧端面运送的夹辊9。而,表面处理装置1间之间隔空间D的输送机3,具备形成凸状用的夹辊9',基板材A是倾斜上升然后倾斜下降地运送。更,夹辊9'具有吸液性,且在夹辊9'间配射空气喷嘴。 |
