制造薄膜图案之设备及使用该设备制造薄膜图案之方法

摘要

一种薄膜图案制造设备及其制造方法,其中由于制程偏差的减小可形成具有可靠性的薄膜图案。薄膜图案制造设备包含:涂覆设备,用于涂覆蚀刻光阻溶液于形成有薄膜的基板上;软模,具有凹陷和凸起,用于按压蚀刻光阻溶液以形成具有对应凹陷之形状的蚀刻光阻图案;以及固化设备,用于固化蚀刻光阻溶液;其中,软模之凸起具有位于其末端之狭窄区域。