微波电浆源及电浆处理装置

摘要

微波电浆源2具备:在将微波分配成复数的状态下输出之微波输出部30、及将分配成复数的微波引导至上述处理室内之复数的天线模组41,各天线模组41具备:具有放大微波的放大器47之放大器部42、及具有将所被放大的微波放射至处理室内的天线51之天线部44、及进行微波的传送路的阻抗调整之调谐器43,调谐器43是与天线部44一体设置,接近于放大器47而设置。