绝缘薄膜之形成方法

摘要

一种绝缘薄膜之制法包括(1)将含具有笼式结构之化合物的薄膜形成组成物涂布于基板上形成薄膜,然后将薄膜乾燥之程序;及(2)以波长大于200奈米之电子束或电磁波照射薄膜之程序。