用于含钌之膜沈积的具有开放配位体之前驱物

摘要

本发明系关于用于含钌之膜沉积的含钌前驱物,其包含一选自本质上由下列各者所组成之群之钌前驱物:Ru(XOp)(XCp)、Ru(XOp)2、Ru(烯丙基)3、RuX(烯丙基)2、RuX2(烯丙基)2、Ru(CO)X(酸盐)Y、Ru(二酮酸盐)2X2、Ru(二酮酸盐)2(酸盐)2、其衍生物及其任何混合物。