研磨机台及其换垫方法

摘要

一种研磨机台及其换垫方法。研磨机台包括一第一夹具、一第二夹具及一研磨头。第一夹具包括一第一上夹及一第一下夹。第一上夹及第一下夹用以上下夹持一第一研磨垫之一侧边。第二夹具包括一第二上夹及一第二下夹。第二上夹及第二下夹用以上下夹持第一研磨垫之另一侧边。当第一夹具及第二夹具夹持第一研磨垫且离开研磨头时,第一研磨垫系可滑出第一夹具及第二夹具且一第二研磨垫系可滑入第一夹具及第二夹具。