修整盘上之活性磨粒数的测量方法

摘要

本发明系关于一种修整盘上之活性磨粒数的测量方法。该方法包含:(a)以使钻石修整盘的钻石磨粒含有面和检查体的硬质面相对向之方式,使钻石修整盘接触于硬质面之步骤;(b)以令存在于钻石修整盘的钻石磨粒含有面上之任意活性磨粒留下对应各活性磨粒的痕迹之方式,在负载下使钻石修整盘横切硬质面而移动之步骤;以及(c)计数用以测量钻石修整盘上的活性磨粒数的痕迹之步骤。