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经营范围
发明名称
Endpunktfühlung und Apparat
摘要
申请公布号
DE69838202(T2)
申请公布日期
2008.05.29
申请号
DE1998638202T
申请日期
1998.09.04
申请人
QIMONDA AG
发明人
LEE, GILL YOUNG
分类号
H01L21/302;H01L21/66;H01J37/32;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/8242;H01L23/525;H01L27/108
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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