Verfahren und Vorrichtung zum Charakterisieren von Wafern bei der Herstellung von Solarzellen

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Charakterisieren von Wafern bei der Herstellung von Solarzellen, mit den Schritten: a) Bereitstellen eines Wafers und Durchführen eines Herstellungsprozesses mit dem Wafer zum Herstellen einer Solarzelle oder mehrerer Solarzellen; b) während des Herstellungsprozesses Durchführen eines Nasschemieschrittes mit dem Wafer, wobei der Nasschemieschritt einen Einfluss der Waferoberfläche auf die Lebensdauer von Ladungsträgern in dem Wafer verringert; c) während des Nasschemieschrittes oder nach dem Nasschemieschritt Bestrahlen des Wafers mit Licht zum Erzeugen von Ladungsträgern in dem Wafer; d) Bestimmen der Lebensdauer der in Schritt c) erzeugten Ladungsträger; und e) Charakterisieren des Wafers anhand der in Schritt d) bestimmten Lebensdauer. In einem zweiten Aspekt betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Charakterisieren von Wafern bei der Herstellung von Solarzellen.