Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einer Vielzahl von Messpunkten

摘要

Zum Bestimmen von Raumkoordinaten einer Vielzahl von Messpunkten entlang einer Kontur eines Messobjekts wird ein Tastkopf mit einem Tastelement bereitgestellt, das an dem Tastkopf beweglich gelagert ist. Beim Verfahren des Tastkopfes entlang der Kontur werden Positionsmesswerte des Tastkopfes und Auslenkungen des Tastelements relativ zum Tastkopf bestimmt. Aus den Positionsmesswerten und Auslenkungen werden Raumkoordinaten für die Messpunkte entlang der Kontur bestimmt. Das Tastelement wird beim Verfahren des Tastkopfes in Kontakt mit der Kontur gehalten, indem mit Hilfe eines Aktors eine definierte Antastkraft erzeugt wird. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Antastkraft in Abhängigkeit von einer Beschleunigung des Tastelements relativ zu dem Tastkopf eingestellt.