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发明名称 HALBLEITERBAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE502004006851(D1) 申请公布日期 2008.05.29
申请号 DE20045006851T 申请日期 2004.07.12
申请人 QIMONDA AG 发明人 HALIK, MARCUS;KLAUK, HAGEN DR.;SCHMID, GUENTER;ZSCHIESCHANG, UTE
分类号 H01L51/40;C03C17/38;C09K11/06;C23C18/18;H01L51/00;H01L51/30 主分类号 H01L51/40
代理机构 代理人
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