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Ein erster und ein zweiter Detektierrahmen (21, 22) sind von einem Substrat (1) so abgestützt, dass sie um eine erste und eine zweite Torsionsachse drehbar sind. Ein erster Kopplungsstab (31) ist mit dem ersten Detektierrahmen (21) auf einer Achse verbunden, die an einer Position liegt, die von einer Position der ersten Torsionsachse in einer ersten Richtung verlagert ist, welche die erste Torsionsachse kreuzt und zu einer Endseite des ersten Detektierrahmens (21) gerichtet ist. Ein zweiter Kopplungsstab (32) ist mit dem zweiten Detektierrahmen (22) auf einer Achse verbunden, die an einer Position liegt, die von einer Position der zweiten Torsionsachse in einer zu der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung verlagert ist. Ein Trägheitsmassekörper (2) ist in einer Dickenrichtung des Substrats (1) verlagerbar, indem er mit dem ersten und dem zweiten Detektierrahmen (21, 22) durch den ersten bzw. den zweiten Kopplungsstab (31, 32) gekoppelt ist. Diese Ausbildung ermöglicht es, einen hochpräzisen Beschleunigungssensor zu erhalten, der durch Störungen kaum beeinflussbar ist.
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