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经营范围
发明名称
Method of forming a drain contact plug in NAND flash memory device
摘要
申请公布号
KR100833430(B1)
申请公布日期
2008.05.29
申请号
KR20060037222
申请日期
2006.04.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/283;H01L27/115
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
主权项
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