发明名称 Speicherzelle, DRAM und Verfahren zur Herstellung einer Transistorstruktur in einem Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号 DE10351030(B4) 申请公布日期 2008.05.29
申请号 DE20031051030 申请日期 2003.10.31
申请人 QIMONDA AG 发明人 GOLDBACH, MATTHIAS;FREY, ULRICH;FISCHER, BJOERN
分类号 H01L27/108;G11C11/40;H01L21/336;H01L21/8242;H01L29/423;H01L29/78 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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