| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS MODULES |
| 摘要 |
A variety of process modules are described for use in semiconductor manufacturing processes.
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| 申请公布号 |
US2008124197(A1) |
申请公布日期 |
2008.05.29 |
| 申请号 |
US20070876915 |
申请日期 |
2007.10.23 |
| 申请人 |
VAN DER MEULEN PETER;KILEY CHRISTOPHER C;PANNESE PATRICK D |
发明人 |
VAN DER MEULEN PETER;KILEY CHRISTOPHER C.;PANNESE PATRICK D. |
| 分类号 |
H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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