METHOD FOR OPERATING A PLASMA PROCESS AND PLASMA SYSTEM

摘要

Ein Verfahren zum Betreiben eines oder mehrerer Plasmaprozesse in einer Plasmakammer, mit zumindest zwei Leistungsversorgungen mit den Verfahrensschritten : a. Durchführen einer Arcerkennung für zumindest eine der Leistungsversorgungen; b. Erzeugen zumindest eines mit der Arcerkennung in Beziehung stehenden Signals und/oder von mit der Arcerkennung in Beziehung stehenden Daten; c. Übermitteln des zumindest einen Signals und/oder der Daten an eine Plasmaprozessregelungseinrichtung und/oder an eine oder mehrere andere Leistungsversorgungen oder an eine oder mehrere den anderen Leistungsversorgungen zugeordneten Arcableitervorrichtungen.