发明名称 |
制造具有由氧化铝组成的陶瓷结构的部件的方法 |
摘要 |
提供了一种制造具有由氧化铝组成的陶瓷结构的部件的方法。所述方法包括提供一种陶瓷粉末,其中氧化铝按重量具有至少约99.8%的纯度。所述陶瓷粉末然后被球磨研磨,研磨表面具有氧化铝,以形成粒度范围从约0.2微米到约5微米的粉末。由所述粉末形成具有预定形状的陶瓷预制件。所述陶瓷预制件在从约1300℃到约1800℃的温度被烧结,以形成烧结的陶瓷材料,其由氧化铝组成,按重量具有至少约99.8%的纯度。烧结的陶瓷材料也具有晶粒和晶界区域,如此晶粒的总面积G<SUB>SA</SUB>与晶界区域的总面积GB<SUB>SA</SUB>的比值为从约0.25到约2.5。此外,在烧结的陶瓷材料中,至少约80%晶粒的尺寸范围为从约1微米到约20微米。 |
申请公布号 |
CN101186488A |
申请公布日期 |
2008.05.28 |
申请号 |
CN200710186832.7 |
申请日期 |
2005.05.24 |
申请人 |
应用材料有限公司 |
发明人 |
L·穆鲁盖什;S·德特玛;H·方 |
分类号 |
C04B35/10(2006.01);C04B35/622(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/10(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵蓉民 |
主权项 |
1.一种制造具有由氧化铝组成的陶瓷结构的部件的方法,该方法包括:(a)提供一种含有氧化铝的陶瓷粉末,其中所述氧化铝按重量具有至少约99.8%的纯度;(b)球磨研磨所述陶瓷粉末,其中研磨表面含有氧化铝,以形成粒度范围从约0.2微米到约5微米的粉末;(c)由所述粉末形成具有预定形状的陶瓷预制件;(d)在从约1300℃到约1800℃的温度烧结所述陶瓷预制件,从而形成烧结的陶瓷材料,该陶瓷材料由按重量具有至少约99.8%的纯度的氧化铝组成,其中所述烧结的陶瓷材料包括晶粒和晶界区域,以使所述晶粒的总面积GSA与所述晶界区域的总面积GBSA的比值为从约0.25到约2.5,并且其中至少约80%的所述晶粒的尺寸范围从为约1微米到约20微米。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |