| 发明名称 | 准分子光照射器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种准分子光照射器，检测出准分子光照射器上配置的准分子灯中寿命到期的该准分子灯，补充不足的光输出，从而实质上不必停止基板处理装置。该准分子光照射器搭载在具有传送基板的传送机构，并照射准分子光，对基板进行处理的基板处理装置上，其特征在于：该准分子光照射器，相对基板传送方向成大致直角地并排配置多根大致棒状的准分子灯，具有可独立调整各准分子灯的输出的供给电源，具有检测各该准分子灯的光输出的检测功能，具有光输出补充功能，在来自至少一根该准分子灯的光输出未达到规定的输出时，补充与不足的光输出相当的光输出。 | ||
| 申请公布号 | CN101187459A | 申请公布日期 | 2008.05.28 |
| 申请号 | CN200710193210.7 | 申请日期 | 2007.11.20 |
| 申请人 | 优志旺电机株式会社 | 发明人 | 菱沼宣是;中村雅规 |
| 分类号 | F21V21/34(2006.01);H05B41/36(2006.01);G21K5/10(2006.01) | 主分类号 | F21V21/34(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 钟强;关兆辉 |
| 主权项 | 1.一种准分子光照射器，搭载在具有传送基板的传送机构，并照射准分子光，对基板进行处理的基板处理装置上，其特征在于：该准分子光照射器，相对基板传送方向成大致直角地并排配置多根大致棒状的准分子灯，具有可独立调整各准分子灯的输出的供给电源，具有检测各该准分子灯的光输出的检测功能，具有光输出补充功能，在来自至少一根该准分子灯的光输出未达到规定的输出时，补充与不足的光输出相当的光输出。 | ||
| 地址 | 日本国东京都千代田区 | ||