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发明名称
摘要
申请公布号
JP4092766(B2)
申请公布日期
2008.05.28
申请号
JP19980081943
申请日期
1998.03.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;H01L29/41;H01L21/28;H01L27/092;H01L29/43
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
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