压电驱式微混合芯片

摘要

一种微电子技术领域的压电驱动的微混合芯片，包括：密封盖层、通道层、压电控制器，密封盖层与通道层通过离子键合技术或者热键合技术密封在一起，密封盖层上侧设有三个压电控制器安装槽，压电控制器以粘贴方式嵌入密封盖层上侧的三个压电控制器安装槽内，通道层上设有循环流体通道；所述的三个压电控制器通过逻辑顺序作用于其下通道层循环流体通道，循环流体通道按照顺序开启、闭合，通过这种逻辑开关顺序，形成片上蠕动泵。本发明结合了通道式混合器和微腔混合器的特点，使不同试剂间的扩散和主动对流得到加强，从而提升混合效率，可以广泛用于生物试剂、化学试剂浓度和组分的实时测定，对于预防医学、环境水源监控都具有很强的实用价值。

主权项

1.一种压电驱式微混合芯片，包括：密封盖层(1)、通道层(2)，其特征在于，还包括：压电控制器(4)，密封盖层(1)与通道层(2)通过离子键合技术或者热键合技术密封在一起，密封盖层(1)上侧设有三个压电控制器安装槽(3)，压电控制器(4)以粘帖方式嵌入密封盖层上侧的三个压电控制器安装槽(3)内，通道层(2)上设有循环流体通道(6)；所述的三个压电控制器(4)通过逻辑顺序作用于其下通道层循环流体通道(6)，循环流体通道(6)按照顺序开启、闭合，这种开启和闭合的逻辑顺序为：关开开、关关开、开关开、开关关、开开关和关开关，通过这种逻辑开关顺序，形成片上蠕动泵。