发明名称
摘要
申请公布号 JP4092387(B2) 申请公布日期 2008.05.28
申请号 JP19990093202 申请日期 1999.03.31
申请人 发明人
分类号 C30B29/42;H01L21/208;C30B15/04;C30B27/02 主分类号 C30B29/42
代理机构 代理人
主权项
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