用于扫描位移恒定的激光烧蚀装置的光扫描机构

摘要

本发明涉及用于扫描位移恒定的激光烧蚀装置的光扫描机构。一种扫描/激光烧蚀装置包括安装在径向臂上的轨道物镜，该径向臂围绕中心轴旋转，以使物镜沿着圆形的扫描路径行进。输入的激光束沿着中心轴被导向到第一反射镜，该第一反射镜重新导向该光束到轨道物镜，即通过第二反射镜。轨道物镜将光束聚焦到与目标对象(例如，具有覆盖钝化层的太阳能电池晶片)的平面相重合的焦点上。当聚焦光束越过目标对象时，激光束被重复地脉冲激发，烧蚀钝化层上的相应部分，使得每次扫描经过期间形成接触开口。这些激光脉冲被定时，以使多次扫描经过形成的接触开口排列成平行的柱，随后这些接触开口用金属化相连。

主权项

1.一种光扫描机构，用于将沿中心轴传输的光束重新导向，以使该光束沿着在目标对象上确定的预定扫描路径进行扫描，所述光扫描机构包括：旋转元件，具有设置用来绕中心轴旋转的第一部分，该旋转元件还具有远离中心轴设置的第二部分；第一光学元件，固定地设置在旋转元件的第一部分上，以使中心轴横切该第一光学元件的一部分；第二光学元件，设置在旋转元件的第二部分上；以及聚焦元件，与第二光学元件成固定关系地设置在旋转元件上；其中第一和第二光学元件被布置成使第一光学元件连续地重新导向来自中心轴的光束到第二光学元件，同时旋转元件围绕中心轴在第一角位置与第二角位置之间旋转，聚焦元件被设置成随着旋转元件在第一角位置与第二角位置之间进行旋转，将光束聚焦在与预定扫描路径相重合的焦点上。