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发明名称 Method for etching smooth sidewalls in III-V based compounds for electro-optical devices
摘要
申请公布号 EP1528592(B1) 申请公布日期 2008.05.28
申请号 EP20040013445 申请日期 2004.06.08
申请人 AVAGO TECHNOLOGIES FIBER IP (SINGAPORE) PTE. LTD. 发明人 MIRKARIMI, LAURA WILLS;CHOW, KAI CHEUNG
分类号 H01L21/306;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/461 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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