发明名称 |
半导体腐蚀和污染控制设备,系统和方法 |
摘要 |
一种设备、系统、方法和计算机程序产品,旨在控制与腐蚀环境接触并以半导体涂层涂覆的导电结构的腐蚀。其中该腐蚀是由可控制滤波器(898)和相应的电子控制单元(899)控制的,设置该电子控制单元处理至少一个存储的或测量的参数。 |
申请公布号 |
CN100390323C |
申请公布日期 |
2008.05.28 |
申请号 |
CN200380101488.7 |
申请日期 |
2003.10.17 |
申请人 |
应用半导体国际有限公司 |
发明人 |
大卫·B·道林;法尔塞德·霍拉米 |
分类号 |
C23F13/00(2006.01);C23F13/02(2006.01);C23F13/04(2006.01);C23F13/06(2006.01) |
主分类号 |
C23F13/00(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郝庆芬 |
主权项 |
1.一种控制与腐蚀环境接触的导电结构的腐蚀的系统,包括:包含布置在所述导电结构上的半导体颗粒的涂层;滤波器,连接至所述涂层并具有可控制滤波器特性;以及电子控制设备,连接至所述滤波器,包括到本地传感器、数据库和遥控设备中的至少一个设备的连接,并且设置与本地读出的参数、存储的参数和远程提供的信号相一致地控制所述可控制滤波器特性;其中,所述可控制滤波器特性是具有低通或陷波滤波器形式的阻抗;并且所述电子控制设备控制所述滤波器,使所述滤波器具有预定腐蚀噪声频率的幅度和/或频率被降低的滤波器特性和/或使所述滤波器被间歇地连接。 |
地址 |
瑞士诺因霍夫 |