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发明名称 LIFT PIN WITH ROLLER GLIDE FOR REDUCING FRICTION
摘要
申请公布号 EP1754254(B1) 申请公布日期 2008.05.28
申请号 EP20050742317 申请日期 2005.05.26
申请人 OC OERLIKON BALZERS AG 发明人 DUBOST, LAURENT;HERNANDEZ, SYLVAIN;JAEGER, HANS;LANDRY, KARINE;VINEL, BERTRAND;ZAPODEANU, EUGENE;SCHMITT, JACQUES;EL BOUCHIKHY, REDOUANE
分类号 H01L21/68;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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