| 发明名称 | 制备氢氯硅烷的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种通过使氢气与四氯化硅和/或氯化氢和硅反应来制备含氢氯硅烷的方法，其中所述硅的表面已经由一种或多种催化材料例如铜的化学汽相沉积法进行了改性。 | ||
| 申请公布号 | CN101189245A | 申请公布日期 | 2008.05.28 |
| 申请号 | CN200580049746.0 | 申请日期 | 2005.03.09 |
| 申请人 | REC硅公司 | 发明人 | 威廉·C·布勒内曼 |
| 分类号 | C07F7/04(2006.01) | 主分类号 | C07F7/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;郭国清 |
| 主权项 | 1.一种用于制备一种或多种氢氯硅烷的方法，包括：使氢气、氯源以及硅粒子进行反应；所述硅粒子上已经通过化学汽相沉积法沉积了氢氯化反应促进剂金属，所述化学汽相沉积法包括：从所述硅粒子表面除去氧，还原包括所述氢氯化反应促进剂金属的可还原物质，并将氢氯化反应促进剂材料沉积到其中氧已经被除去的所述硅粒子上。 | ||
| 地址 | 美国华盛顿 | ||