发明名称 一种用高温气相法制备晶体的坩埚及其使用方法
摘要 本发明涉及一种用高温气相法制备晶体的坩埚及其使用方法。为解决用高温气相法制备晶体的过程中,由于传热效率低而导致受热的固体粉料气化率较低,而且在坩埚内也不易形成有效的温度梯度的问题,本发明通过改变坩埚的内部形状,使坩埚的内径上大下小,通过特殊的工艺方法,使物料在加热过程中始终与坩埚壁紧密接触,实现了高效的传导型传热,并提供所需的温度梯度,制备较大尺寸的晶体。
申请公布号 CN100390328C 申请公布日期 2008.05.28
申请号 CN200510078273.9 申请日期 2005.06.08
申请人 郑瑞生;武红磊 发明人 武红磊;郑瑞生;鲁枫;孙秀明
分类号 C30B23/06(2006.01);F27B14/10(2006.01) 主分类号 C30B23/06(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种用高温气相法制备晶体的坩埚,坩埚由埚体(1)、埚盖(2)组成,其特征在于坩埚内部为圆台形,上大下小,坩埚上端内径为20~80mm,下端内径为10~45mm,内部高度为30~90mm;坩埚外部是圆柱形,直径为30~90mm,高度为35~105mm,具体尺寸由生产条件确定。
地址 518060广东省深圳市南山区深圳大学光电子学研究所