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发明名称 Double pass etalon spectrometer
摘要
申请公布号 EP1026487(B1) 申请公布日期 2008.05.28
申请号 EP20000101694 申请日期 2000.02.03
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号 G01J3/12;G01J3/26;G01B9/02;G01J1/00;G01J3/00;G01J3/02;G01J3/28 主分类号 G01J3/12
代理机构 代理人
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