发明名称 Method for manufacturing a semiconductor element with a metal gate electrode in a double trench structure
摘要
申请公布号 EP1858065(A3) 申请公布日期 2008.05.28
申请号 EP20070009106 申请日期 2007.05.05
申请人 UNITED MONOLITHIC SEMICONDUCTORS GMBH 发明人 BEHAMMER, DAG
分类号 H01L21/335;H01L21/28 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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