发明名称 Process for manufacturing thick suspended structures of semiconductor material
摘要
申请公布号 EP1770055(B1) 申请公布日期 2008.05.28
申请号 EP20050425676 申请日期 2005.09.28
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 CORONA, PIETRO;VILLA, FLAVIO FRANCESCO;BARLOCCHI, GABRIELE
分类号 B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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