一种无机全固态电致变色元件及其制备方法

摘要

本发明提供一种无机全固态电致变色元件及其制备方法，该元件的结构为：在掺锡氧化铟玻璃基片上依次沉积的氧化钨薄膜、偏硼酸锂和硫酸锂混合物薄膜、镍氧化物薄膜、掺锡氧化铟薄膜；其制备方法的步骤如下：将掺锡氧化铟导电玻璃切割出适合仪器设备大小的基片，并依次在丙酮、无水乙醇、去离子水中超声清洗；将装有基片的多靶磁控溅射装置的溅射成膜腔抽真空到1×10^－4Pa；然后依次沉积氧化钨薄膜、偏硼酸锂和硫酸锂混合薄膜、镍氧化物薄膜、掺锡氧化铟薄膜。依本发明方法制备的电致变色元件具有改变可见光透射率的性能，并且具有调制范围大，反应时间短等特点，在变色玻璃，防眩反光镜，信息显示屏幕、促进节能窗的研究和应用等方面具有很大的价值。

主权项

1.一种无机全固态电致变色元件，其特征在于：其结构为：基片；在该基片上沉积的阴极变色层；在该阴极变色层上沉积的离子导电层；在该离子导电层上沉积的阳极变色层；在该阳极变色层上沉积的透明电极；其中，所述的基片为掺锡氧化铟玻璃基片，所述的阴极变色层为氧化钨薄膜；所述的离子导电层为偏硼酸锂和硫酸锂混合物薄膜；所述的阳极变色层为镍氧化物薄膜；所述的透明电极为掺锡氧化铟薄膜。