二维固定射束图形及角度映射

摘要

本发明涉及一种离子束均匀度检测器，包括在平行平面上放置的并以选定的距离分开的多个水平条和多个垂直条。由所述水平和垂直条的交点定义交叉测量点。通过选择性地以及继续地施加脉冲到所述垂直条以及同时偏置所述水平条，可以获得所述交叉测量点的测量值，然后使用该测量值确定在所述交叉测量点处离子束形状和离子束强度。基于这些测量值，可以对连续的离子注入作出调整以便于提高在强度方面的均匀性，同时提供所期望的射束形状。此外，也可以使用多对垂直和水平条来获得表示出在各个交叉点处在二维内的入射角的测量值。

主权项

1.一种射束均匀度测量系统，包括：多个在第一方向延伸的垂直条，其通过垂直条选择机构选择性地接收脉冲信号；在与所述第一方向不平行的第二方向延伸的多个水平条，所述多个水平条在所述多个垂直条的上游并且偏置到高于负脉冲信号的电压，其中在所述多个水平条和多个垂直条的交点处定义多个交叉测量点；以及电荷输出电路，其通过水平条选择机构选择性地扫描所述多个水平条，以便响应入射离子束，从所述多个水平条获得对应于次级电子发射的信号。