СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА,申请号RU20060141110-传众专利搜索

发明名称	СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА
摘要
申请公布号	RU2006141110(A)	申请公布日期	2008.05.27
申请号	RU20060141110	申请日期	2006.11.20
申请人	Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предпри тие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП"ТЕМП-АВИА") (RU)	发明人	Былинкин Сергей Федорович (RU);Миронов Сергей Геннадьевич (RU);Китаев Игорь Викторович (RU)
分类号	H01L21/311	主分类号	H01L21/311
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利