DIAPHRAGM VACUUM MEASURING CELL, AND METHOD FOR PRODUCING SUCH A CELL

摘要

Vorgestellt wird ein Verfahren zur Herstellung einer Membranvakuummesszelle, wobei auf der einen Seite der Membran (2) beabstandet eine erste Gehäuseplatte (1) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, und dass auf der anderen Seite der Membran (2) beabstandet eine zweite Gehäuseplatte (4) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, und dass die zweite Gehäuseplatte (4) eine Öffnung aufweist an der ein Anschlussmittel (5) mit Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist zur Verbindung der Messzelle (8) mit dem zu messenden Medium, wobei die Membran (2) und die beiden Gehäuseplatten (1, 4) aus einem Metalloxid bestehen. Die Messzelle wird in einer Vakuumkammer (64) mit einem ALD - Verfahren beschichtet insbesondere durch die Öffnung der Messzelle derart, dass die Innenwandung des Messvakuumraumes (9) und die Öffnung mit den Anschlussmittel (5) mit einer Schutzschicht (13) bedeckt wird, derart dass mindestens das Verbindungsmittel (3) für die Membran (2) korrosionsschützend abgedeckt wird.