| 主权项 |
1.一种具防分离结构之标准机械介面晶圆盒之盒 门,用以卡扣一晶圆盒,该盒门包含: 一底座; 一卡扣部,其安装于该底座上,并可相对于该底座 移动,而伸出该底座之一侧面之一开口或缩入该底 座之该侧面之该开口,该卡扣部用以卡扣该晶圆盒 之一卡扣结构;及 一预压机构,其安装于该底座上,并连接至该卡扣 部,以提供一预定压力给该卡扣部,使该卡扣部伸 出该底座之该侧面之该开口。 2.如申请专利范围第1项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,其中该预压机构系为一 压缩弹簧、一拉伸弹簧或一扭簧。 3.如申请专利范围第1项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,更包含:一凸轮,其可转 动地安装于该底座上,并与该卡扣部接触,该凸轮 可被转动来施以一抵抗力给该卡扣部,来使该卡扣 部缩入该底座之该侧面之该开口中。 4.如申请专利范围第3项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,更包含:一锁固机构,其 安装于该底座上,该锁固机构产生作用以将该卡扣 部锁固成伸出该底座之该侧面之该开口外。 5.如申请专利范围第4项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,其中该凸轮被旋转一预 定角度,使该锁固机构产生作用。 6.如申请专利范围第3项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,其中该凸轮之一背面上 形成有两个动力衔接孔槽,该凸轮之一正面上形成 有一环状轮廓孔槽来与该卡扣部接触。 7.如申请专利范围第6项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,其中该环状轮廓孔槽更 形成有一锁固结构,该锁固结构产生作用以将该卡 扣部锁固成伸出该底座之该侧面之该开口外。 8.如申请专利范围第7项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,其中该凸轮被旋转一预 定角度,使该锁固结构产生作用。 9.如申请专利范围第1项所述之具防分离结构之标 准机械介面晶圆盒之盒门,其中该卡扣部具有一导 引斜面,用以在被该晶圆盒压下时缩入该侧面之该 开口。 图式简单说明: 图1显示本创作较佳实施例之具防分离结构之标准 机械介面晶圆盒与盒门之组装示意图。 图2显示本创作较佳实施例之具防分离结构之标准 机械介面晶圆盒与盒门之分解示意图之一。 图3显示本创作较佳实施例之具防分离结构之标准 机械介面晶圆盒与盒门之分解示意图之二。 图4显示本创作较佳实施例之盒门之凸轮的俯视示 意图之一。 图5显示本创作较佳实施例之盒门之凸轮的俯视示 意图之二。 图6显示依据本创作另一实施例之具有自动缩入功 能之卡扣部之应用的局部示意图。 |
