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1.一种光罩清洗设备,尤指以擦拭手段去除光罩顶 部表面与两侧上、下边缘表面之微粒或雾化污渍 的设备,其包括: 一或多数侧边擦拭装置,其设于对应光罩一侧,侧 边擦拭装置具有一面向光罩侧边之擦拭布,擦拭布 可含浸清洗液、且呈不滴水之湿润状,该侧边擦拭 装置可利用擦拭布同步擦拭清洗光罩侧边之上、 下边缘表面; 一或多数顶面擦拭装置,其设于光罩上方,顶面擦 拭装置具有一面向光罩顶部表面之擦拭布,擦拭布 可含浸清洗液、且不滴水之湿润状擦拭布,该顶面 擦拭装置可利用擦拭布擦拭清洗光罩顶部表面。 2.依据申请专利范围第1项所述之光罩清洗设备,其 进一步包含有; 一机体,其可设置侧边擦拭装置与顶面擦拭装置设 于一机体内; 一输送装置,其具有一可承载光罩之承载单元,可 将光罩移入机体内,且侧边擦拭装置设于输送装置 两侧或任一侧,又前述顶面擦拭装置设于输送装置 上方; 一移转装置,其具有一光罩盒启闭单元及一机械手 臂单元,光罩盒启闭单元可用于启闭容设光罩之光 罩盒,而机械手臂单元可令光罩于光罩盒启闭单元 与承载单元间移载。 3.依据申请专利范围第1或2项所述之光罩清洗设备 ,其中侧边擦拭装置具有一固定框体,固定框体上 设有一具第一、二卷布器之卷布单元,且擦拭布系 卷绕于第一、二卷布器间,卷布单元上进一步设有 一可对擦拭布提供清洗液之加水器,再者侧边擦拭 装置于擦拭布异于光罩一侧的固定框体上设有一 清洗单元,该清洗单元具有一可对应光罩伸出或缩 回之清洗头,且清洗头可同步擦拭光罩侧边之上、 下边缘表面。 4.依据申请专利范围第3项所述之光罩清洗设备,该 侧边擦拭装置上设有供擦拭布卷绕之导轮,以维持 擦拭布之张力。 5.依据申请专利范围第3项所述之光罩清洗设备,该 侧边擦拭装置之擦拭布系选自具吸收性、且不产 生微粒或纤维剥落之无尘布、无尘纸等。 6.依据申请专利范围第3项所述之光罩清洗设备,该 卷布单元具有一加热器,可进一步预先将清洗液加 热至适当温度。 7.依据申请专利范围第3项所述之光罩清洗设备,该 清洗单元进一步于清洗头对应光罩进料一侧设有 一去除单元,可于擦拭光罩前预先去除光罩上的微 粒。 8.依据申请专利范围第7项所述之光罩清洗设备,该 去除单元系为吸气元件,以避免微粒扬起沾附于光 罩其他表面或设备内。 9.依据申请专利范围第3项所述之光罩清洗设备,该 清洗单元进一步于清洗头对应光罩出料一侧设有 一烘乾单元,用于当光罩经擦拭后,可利用压缩乾 燥空气或氮气立即烘乾清洗后的光罩。 10.依据申请专利范围第9项所述之光罩清洗设备, 该烘乾单元具有一加热器,使其可提供热压缩乾燥 空气或热氮气,进一步增进其烘乾效果。 11.依据申请专利范围第3项所述之光罩清洗设备, 该侧边擦拭装置并于擦拭布对应光罩一侧的固定 框体上设有一或多数压轮,让清洗单元之清洗头于 对应光罩伸出时,可利用压轮预先形成夹掣空间, 以防止光罩边缘异常拉动擦拭布。 12.依据申请专利范围第1或2项所述之光罩清洗设 备,其中顶面擦拭装置具有一固定框体,固定框体 上设有一具第一、二卷布器之卷布单元,且擦拭布 系卷绕于第一、二卷布器间,卷布单元上进一步设 有一可对擦拭布提供清洗液之加水器,再者侧边擦 拭装置于擦拭布异于光罩一侧的固定框体上设有 一清洗单元,该清洗单元具有一可对应光罩伸出或 缩回之清洗头,且清洗头可将擦拭布压抵于光罩之 顶部表面,供进行擦拭清洗。 13.依据申请专利范围第12项所述之光罩清洗设备, 该顶面擦拭装置上设有供擦拭布卷绕之导轮,以维 持擦拭布之张力。 14.依据申请专利范围第12项所述之光罩清洗设备, 该顶面擦拭装置之擦拭布系选自具吸收性、且不 产生微粒或纤维剥落之无尘布、无尘纸等。 15.依据申请专利范围第12项所述之光罩清洗设备, 该卷布单元具有一加热器,可进一步预先将清洗液 加热至适当温度。 16.依据申请专利范围第12项所述之光罩清洗设备, 该清洗单元进一步于清洗头对应光罩进料一侧设 有一去除单元,可于擦拭光罩前预先去除光罩上的 微粒。 17.依据申请专利范围第16项所述之光罩清洗设备, 该去除单元系为吸气元件,以避免微粒扬起沾附于 光罩其他表面或设备内。 18.依据申请专利范围第12项所述之光罩清洗设备, 该清洗单元进一步于清洗头对应光罩出料一侧设 有一烘乾单元,用于当光罩经擦拭后,可利用压缩 乾燥空气或氮气立即烘乾清洗后的光罩。 19.依据申请专利范围第18项所述之光罩清洗设备, 该烘乾单元具有一加热器,使其可提供热压缩乾燥 空气或热氮气,进一步增进其烘乾效果。 20.依据申请专利范围第1或2项所述之光罩清洗设 备,其进一步于光罩进出口处设有一检测装置,该 检测装置具有一对应光罩顶面处设有一检知元件, 以检知光罩顶面之微粒状况,做为清洗擦拭前、后 之比较,以确认其清洗效果。 图式简单说明: 第一图:所绘示者系光罩之外观示意图。 第二图:系本创作光罩清洗设备之外观示意图。 第三图:系本创作光罩清洗设备之内部状态示意图 ,其显示本创作之构成及。 第四图:系本创作光罩清洗设备之清洗动作示意图 ,用以说明光罩旋转及清洗之位置。 第五图:系本创作之侧边擦拭装置端面示意图,用 于揭示其未夹掣光罩上、下边缘表面之状态。 第六图:系本创作之侧边擦拭装置端面示意图,进 一步揭示其夹掣光罩上、下边缘表面擦拭之状态 。 第七图:系本创作之侧边擦拭装置的侧面示意图, 用于揭示其连续擦拭光罩上、下边缘表面状态。 第八图:系本创作之顶面擦拭装置的侧面示意图, 用于揭示其顶部表面连续擦拭状态。 第九图:系本创作光罩清洗设备另一实施例之外观 示意图,用以说明其构成及相对关系。 第十图:系本创作光罩清洗设备另一实施例之前视 平面示意图,进一步说明其清洗动作之状态。 |
