| 主权项 |
1.一种探针卡搬运装置,系构成为搬运具备卡夹持 器之探针卡于设定在探测器室内的第1预定位置L1 和设定于探测器室外的第2预定位置之间的探针卡 搬运装置,其特征为具备: 第1定位用卡合具,配设于该探测室内之该第1预定 位置; 转移机构,构成为移送具备该卡夹持器之探针卡于 设定在该探测器室内的转移位置和探测器室外的 第2预定位置之间,而该卡夹持器具有第1定位用被 卡合具及第2定位用被卡合具;及 支承体移送机构,构成为移送该具备卡夹持器之探 针卡于探测器室内的该转移位置和探测器室内的 该第1预定位置之间, 该支承体移送机构,具备有:构成为载置且支承该 具备卡夹持器之探针卡用的支承体;藉由摆动自如 之支承机构来组装于该支承体的第2定位用卡合具 ;及,构成可朝X、Y、Z及方向移动该支承体之支 承体移动机构,而该支承体移动机构系移送该具备 卡夹持器的探针卡于探测器室内之该转移位置和 该第1预定位置之间, 而藉由该支承体移动机构移送之具备卡夹持器的 探针卡,藉由卡合该第1定位用被卡合具于该第1定 位用卡合具,而使该具备卡夹持器之探针卡定位于 探测室内的第1预定位置。 2.如申请专利范围第1项之探针卡搬运装置,其中该 第1定位用卡合具及第2定位用卡合具为第1定位销 及第2定位销, 该第1定位用被卡合具及第2定位用被卡合具为第1 开口部及第2开口部, 该第2定位销前端部之至少一部分实质上形成球面 状, 该第2定位销乃藉由摆动自如之支承机构组装于该 支承体。 3.如申请专利范围第2项之探针卡搬运装置,其中该 摆动自如的支承机构具备有板弹簧。 4.如申请专利范围第3项之探针卡搬运装置,其中该 摆动自如的支承机构更具备有限制该第2定位销成 倾斜之角度用的手段。 5.如申请专利范围第3项之探针卡搬运装置,其中该 摆动自如的支承机构之该板弹簧具备有复数个开 缝。 6.如申请专利范围第5项之探针卡搬运装置,其中该 复数个开缝系配置实质上呈同心圆状,且具有不同 直径的复数个圆弧状开缝。 7.一种被接合体移送机构,系构成为移送被接合体 于设定在接合体之预定位置用的被接合体移送机 构,该被接合体移送机构具备有: 定位用之被卡合具,配设于被接合体; 支承体,构成可载置且保持被接合体; 定位用卡合具,藉由摆动自如之支承机构组装于该 支承体,而该第2定位用卡合具系藉由卡合于该被 接合体的该定位用的被卡合具,而使该被接合体定 位于支承体上;及, 支承体移动机构,构成可朝X、Y、Z及方向移动该 支承体。 8.如申请专利范围第7项之被接合体移送机构,其中 该定位用卡合具为定位销, 该定位销前端部之至少一部分实质上形成球面状, 该定位用被卡合具为开口部。 9.如申请专利范围第7项之被接合体移送机构,其中 该摆动自如的支承机构具有板弹簧。 10.如申请专利范围第9项之被接合体移送机构,其 中该摆动自如的支承机构具备限制该定位销成倾 斜角度用的手段。 11.如申请专利范围第9项之被接合体移送机构,其 中该板弹簧具备有复数个开缝。 12.如申请专利范围第11项之被接合体移送机构,其 中该复数个开缝系配置实质上呈同心圆状,且具有 不同直径的复数个圆弧状开缝。 图式简单说明: 图1系显示本发明之探针卡搬运装置的一实施例主 要部分之图。 图2系在本发明之探针卡搬运装置的摆动自如之支 承体平面图。 图3系显示在本发明之探针卡搬运装置的摆动自如 之支承体及第2定位销的图。 图4系显示可使用于本发明探针卡搬运装置之有关 摆动自如的其他实施例之剖面图。 图5系显示可使用于本发明探针卡搬运装置的有关 摆动自如之另一实施例的剖面图。 图6A及图6B系显示图1所示之探针卡搬运装置进行 组装探针卡的夹紧机构的动作。图6A系显示在刚 要接合探针卡之卡夹持器和夹紧机构之前的状态 之剖面图,而图6B系显示接合了卡夹持器和夹紧机 构时之状态的剖面图。 图7A及图7B系显示先前之探针卡搬运装置的一例子 之模式图。图7A系显示同装置的概要图,图7B系显 示定位销之位置和定位用开口部的位置形成有偏 差时之状态图。 |
