| 主权项 |
1.一种控制连结一传动系统的一基体之运动的方 法,该方法包含: 在连结于该基体的该传动系统中,相对于两个间隔 开的轴传递角移动,以在一平移平面内造成该基体 的平移移动,而该平移平面系平行于该两个间隔开 的轴当中之一者而延伸。 2.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括藉由使 该基体进行该平移移动,以将该本体相对于一与其 间隔分开之参考平面,定位成一所希望的空间关系 。 3.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括将该基 体相对于一图案化的材料层定位成一所希望的空 间关系,该图案化材料层具有一实质均匀的剩余厚 度。 4.如申请专利范围第1项之方法,其中该两个间隔分 开的轴彼此平行延伸。 5.如申请专利范围第1项之方法,其中该两个间隔分 开的轴位于不同的平面内。 6.如申请专利范围第1项之方法,其中该两个间隔分 开的轴互为横向延伸。 7.如申请专利范围第1项之方法,其中传递步骤进一 步包括把该基体连结到一内框架,而该内框架则是 连接于一外框架上,以对复数个横向延伸的倾斜轴 形成倾斜,而该等横向延伸倾斜轴包括该两个间隔 分开的轴中之一者。 8.如申请专利范围第1项之方法,其中传递步骤进一 步包括把该基体连结到一内框架,而该内框架是连 接于一外框架上,以改变沿着位于邻近该内框架之 一周缘处的两个或更多个平移轴的平移运动,藉以 使该内框架呈倾斜并传递绕着该两个间隔分开的 轴中之一者的该角移动。 9.如申请专利范围第1项之方法,其中传递步骤进一 步包括连接该基体到连接于一内框架上的一挠曲 机构,而该挠曲机构促成该基体形成倾斜,以传递 绕着该两个间隔分开的轴中之一者的该角移动。 10.如申请专利范围第1项之方法,其中传递步骤进 一步包括连接该基体到连接于一内框架上的一挠 曲机构,而该挠曲机构促成该基体形成倾斜,以传 递绕着该两个间隔分开的平行轴中之一者的该角 移动,而且不受该两个间隔分开的平行轴中剩余的 一个轴的角移动之拘束。 11.如申请专利范围第1项之方法,其中传递步骤进 一步包括连接该基体到一内框架和一挠曲机构,而 该内框架是连结成用来传递倾斜运动到该挠曲机 构和该基材上,且该挠曲机构是连接成用来传递倾 斜运动到该基体上,而不受该内框架所传递的该倾 斜运动所拘束。 图式简单说明: 第1图是依据本发明之一定向平台的爆炸透视图, 揭示一模板夹具和一模板; 第2图是第1图所示的定向平台之透视图; 第3图是依据本发明第一个实施例之包括在第1图 所示的定向平台中之被动式顺应性装置,和模板支 架与模板的爆炸透视图; 第4图是第3图所示的被动式顺应性装置之详细透 视图; 第5图是第4图所示的被动式顺应性装置之侧视图, 揭示被包括在其内的转动接点的细节; 第6图是第4图所示的被动式顺应性装置之侧视图; 第7图是第6图所示的顺应性装置旋转90度的侧视图 ; 第8图是第6图所示的顺应性装置旋转180度的侧视 图; 第9图是第6图所示的顺应性装置旋转270度后之的 侧视图; 第10图是依据本发明之另一个实施例的顺应性装 置之透视图; 第11图是第1图所示的、和基材相重叠的模板之简 化立面图,显示沿一方向上的偏差(misalignment); 第12图是第11图所示的模板和基材之俯视图,显示 沿两个横向上的偏差; 第13图是第11图所示的模板和基材之俯视图,显示 角向偏差(angular misalignment); 第14图是第1图所示的、和基材相重叠的模板之简 化立面图,显示角向偏差; 第15图是第11图、第12图、第13图和第14图中所示的 模板和基材之间所希望的对准之简化立面图; 第16图是第1图、第3图、第11图、第12图、第13图、 第14图和第15图中和基材相重叠的模板的一个实施 例之详细图;以及 第17图是第16图所示的模板之详细图,显示相对于 基材所希望的空间配置。 |
